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반도체 장비 설계[반도체장비 > 반도체 장비 주요부 기구설계]반도체장비 주요부 사양 정하기,Simulation/해석하기,시스템 설계하기[반도체장비 > 반도체 장비 주변부 기구설계]반도체장비 주요부 사양 정하기,Simulation/해석하기,시스템 설계하기